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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种长晶舟	实用新型	CN201921401763.1	CN210886319U	2020-06-30
2	一种气浮轴承	实用新型	CN201921846050.6	CN210859563U	2020-06-26
3	一种长晶舟及制备工艺	发明专利	CN201910796250.3	CN110666992A	2020-01-10
4	一种气浮轴承	发明专利	CN201911045590.9	CN110630638A	2019-12-31

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序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	比色杯上架慢走丝线切割数控加工系统	-	V1.0	2021SR0306983	-	-	2021-02-26
2	光刻机用钛合金整体框架质量检测系统	-	V1.0	2021SR0304078	-	-	2021-02-26
3	凸点真空吸盘数控加工系统	-	V1.0	2021SR0303985	-	-	2021-02-26
4	光刻机用钛合金整体框架加工控制系统	-	V1.0	2021SR0298614	-	-	2021-02-25
5	凸点真空吸盘质量检测系统	-	V1.0	2021SR0296592	-	-	2021-02-25
6	顶板连接件质量检测系统	-	V1.0	2021SR0296559	-	-	2021-02-25
7	DFT导轨梁曲面数控加工系统	-	V1.0	2021SR0296128	-	-	2021-02-25
8	0.05毫米微孔阵列加工控制系统	-	V1.0	2021SR0296120	-	-	2021-02-25
9	梯形及倒三角型铝合金横梁数控加工系统	-	V1.0	2021SR0296117	-	-	2021-02-25
10	比色杯上架质量检测系统	-	V1.0	2021SR0295990	-	-	2021-02-25

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