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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	用于镀膜装置的镀膜夹具	实用新型	CN201320636721.2	CN203602708U	2014-05-21
2	研磨抛光盘静压支撑装置	实用新型	CN201320657281.9	CN203600044U	2014-05-21
3	研磨抛光头支撑装置	实用新型	CN201320636756.6	CN203600043U	2014-05-21
4	一种研磨机研磨盘修整装置	发明专利	CN201310534015.1	CN103639897A	2014-03-19
5	一种温度可控的研磨抛光盘	实用新型	CN201320109002.5	CN203156591U	2013-08-28
6	研磨机强驱加压装置	实用新型	CN201320108432.5	CN203156553U	2013-08-28
7	一种超精密化学机械抛光机	实用新型	CN201220084339.0	CN202540126U	2012-11-21

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