一种研磨机晶圆放反报警系统
基本信息
| 申请号 | CN201820428265.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208368469U | 公开（公告）日 | 2019-01-11 |
| 申请公布号 | CN208368469U | 申请公布日 | 2019-01-11 |
| 分类号 | H01L21/304;H01L21/66 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨联富 | 申请（专利权）人 | 日月光封装测试（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 林斯凯 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路669号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及研磨机晶圆放反报警系统。根据本实用新型的一实施例，晶圆检测系统包含晶圆，所述晶圆具有正面和与所述正面相对的反面，其中所述正面具有电路图案；以及光学检测器，其安置于所述晶圆下方且不与所述晶圆接触，所述光学检测器经配置以接收从晶圆表面射出的光线，并确定面向所述光学检测器的所述晶圆表面是所述晶圆的所述正面。本实用新型的研磨机晶圆放反报警系统及方法有效改善因操作人员将晶圆放反而造成的高额经济损失。 |
