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研磨垫结构

基本信息

申请号 CN202021614216.4 申请日 -
公开（公告）号 CN212886988U 公开（公告）日 2021-04-06
申请公布号 CN212886988U 申请公布日 2021-04-06
分类号 B24B37/26(2012.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 黄汉民;杨謦宁;谈文毅 申请（专利权）人 联芯集成电路制造（厦门）有限公司
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陈小雯
地址 福建省厦门市翔安区万家春路899号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种研磨垫结构，包含一下层、一上层，其一面为研磨面，另一面与该下层相接、一开口穿过该下层与该上层、以及一弹性光学窗，与该上层相接并盖住整个该开口，其中该弹性光学窗的一表面呈曲面型态从该研磨面向外凸出。