电阻式存储器结构及其制作方法

基本信息

申请号 CN201911390437.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113130737A 公开(公告)日 2021-07-16
申请公布号 CN113130737A 申请公布日 2021-07-16
分类号 H01L45/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄清俊;邓允斌;欧阳锦坚;谈文毅 申请(专利权)人 联芯集成电路制造(厦门)有限公司
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陈小雯
地址 361100福建省厦门市翔安区万家春路899号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种电阻式存储器结构及其制作方法,其中该电阻式存储器结构包含一基底,一电阻式存储器埋入基底,其中电阻式存储器包含一下电极、一金属氧化物层和一上电极,一第一掺杂区埋入基底并且围绕下电极,一晶体管设置于电阻式存储器的一侧,其中晶体管包含一栅极结构位于基底上,一源极位于栅极结构的一侧并且埋入基底,一漏极位于栅极结构的另一侧并且埋入基底,其中第一掺杂区和漏极接触。