临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201910748742.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112395910A | 公开（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申请公布号 | CN112395910A | 申请公布日 | 2021-02-23 |
| 分类号 | G06K9/00(2006.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 陈辉腾;尹又生;金艳慧;刘涛;吴晓宁;许弈佳;郭晓娜;王哲忠;陈有证;谈文毅 | 申请（专利权）人 | 联芯集成电路制造（厦门）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 徐协成 |
| 地址 | 361100福建省厦门市翔安区万家春路八九九号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法。临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统。控制系统包括一智能图像识别单元、一处理单元及一远程操作单元。智能图像识别单元用以提取一屏幕画面，并自动辨识一警告事件的类型。处理单元用以在屏幕画面的一显示区域自动搜寻一目标图案。若在屏幕画面的显示区域自动搜寻到目标图案，则远程操作单元自动移动目标图案至显示区域的中心。 |
