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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	新型高靶材利用率平面磁控溅射阴极	发明专利	CN201710299682.4	CN107083537B	2019-10-01
2	一种等离子体源以及镀膜机	发明专利	CN201710054054.X	CN106847661B	2018-11-20
3	高频感应加热蒸发装置	实用新型	CN201721163764.8	CN207362324U	2018-05-15
4	高频感应加热蒸发装置	发明专利	CN201710803689.5	CN107400860B	2017-11-28
5	高频感应加热蒸发装置	发明专利	CN201710803689.5	CN107400860A	2017-11-28
6	新型高靶材利用率平面磁控溅射阴极	发明专利	CN201710299682.4	CN107083537A	2017-08-22
7	一种圆压圆模切板	实用新型	CN201621298680.0	CN206367056U	2017-08-01
8	一种等离子体源以及镀膜机	发明专利	CN201710054054.X	CN106847661A	2017-06-13

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