一种硅基光计算异质集成模组

基本信息

申请号 CN202011577277.2 申请日 -
公开(公告)号 CN112736073B 公开(公告)日 2022-07-12
申请公布号 CN112736073B 申请公布日 2022-07-12
分类号 H01L25/16(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L23/538(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 薛海韵;曹立强 申请(专利权)人 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
代理机构 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 -
地址 214028江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅基光计算异质集成模组结构,包括:载片;硅基光芯片,所述硅基光芯片正装贴片埋入设置在所述载片中;电芯片,所述电芯片正装贴片埋入设置在所述载片中,所述硅基光芯片的厚度大于所述电芯片的厚度;以及电互联结构,所述电互联结构电连接所述硅基光芯片至所述电芯片。