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序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	创翔JC-P 硅片破损检测机软件系统	-	V1.1	2016SR001546	10100-0000	-	2016-01-05
2	创翔LXP-Ⅲ-B型全自动高效硅片下片控制系统	-	V2.0	2015SR205675	10100-0000	-	2015-10-26
3	创翔SMZ-Ⅰ型PECVD石墨舟自动装卸片控制系统	SMZ-Ⅰ	V1.0.1	2015SR205613	10100-0000	-	2015-10-26
4	创翔LSP-Ⅲ-B型全自动高效硅片自动上片控制系统	LSP-Ⅲ-B	V1.0.2	2015SR205579	10100-0000	-	2015-10-26
5	创翔DS300C低压高温扩散炉控制系统	DS300C	V1.0.1	2015SR205575	10100-0000	-	2015-10-26
6	创翔SYZ石英舟装卸片控制系统	-	V1.0	2015SR205557	10100-0000	-	2015-10-26
7	创翔PD_380B型PECVD控制系统	PD_380B	V1.0.1	2014SR140872	40000-3600	-	2014-09-18
8	MD_600A型ZnO_MOCVD控制系统	MD_600A	V1.0.1	2013SR016536	40000-0000	-	2013-02-25
9	DS-300A型太阳能电池扩散/氧化炉监控系统	扩散炉监控系统	V2.66	2011SR085546	30200-3600	-	2011-11-21
10	PD-380A型管式PECVD设备监控系统	管式PECVD监控系统	V1.52	2011SR085188	30200-3600	-	2011-11-21

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