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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种乙硼烷合成系统及方法	发明专利	CN202011380643.5	CN112452278B	2021-07-16
2	一种乙硼烷合成系统及方法	发明专利	CN202011380643.5	CN112452278A	2021-07-16
3	一种氙气生产制备装置及方法	发明专利	CN202011160299.9	CN112250050B	2021-07-09
4	一种氙气生产制备装置及方法	发明专利	CN202011160299.9	CN112250050A	2021-07-09
5	一种砷烷的合成提纯方法	发明专利	CN202011385329.6	CN112520699A	2021-03-19
6	乙硅烷的生产提纯工艺	发明专利	CN202011274073.1	CN112158847A	2021-01-01

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