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  • 珮凯科技

    苏州珮凯科技有限公司

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    • 官网:-
    • 地址:苏州市吴中区光福镇光电路20号7号厂房
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    • 作品著作权 0
    • 网站备案 0

    商标信息0

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    专利信息22

    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 半导体8寸晶元制造薄膜制程的WxZ工艺的陶瓷环状零部件再生方法 发明专利 CN201810306536.4 CN108816870B 2021-05-25
    2 8寸晶圆制造蚀刻机台Unity-85核心零部件上部电极表面制程物的去除方法 发明专利 CN201911359920.1 CN111048395A 2020-04-21
    3 8寸晶圆制造光刻机核心零部件CUP的固化光阻去除液及其去除固化光阻的方法 发明专利 CN201911361767.6 CN110908254A 2020-03-24
    4 一种用于光电零部件的热风烤箱 实用新型 CN201920709809.X CN210036086U 2020-02-07
    5 半导体晶元薄膜制程蚀刻工艺铝件的再生方法 发明专利 CN201810306125.5 CN108642509B 2019-12-20
    6 用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱 实用新型 CN201821190201.2 CN208928675U 2019-06-04
    7 用于半导体零部件的无溶剂清洗设备 实用新型 CN201821062387.3 CN208928670U 2019-06-04
    8 一种用于光电零部件的超声波清洗机 实用新型 CN201821062330.3 CN208866068U 2019-05-17
    9 一种用于光电零部件的高压喷淋清洗机 实用新型 CN201821062329.0 CN208866038U 2019-05-17
    10 一种用于光电零部件的退火炉 实用新型 CN201821189167.7 CN208655582U 2019-03-26

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