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专利信息22
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 半导体8寸晶元制造薄膜制程的WxZ工艺的陶瓷环状零部件再生方法 | 发明专利 | CN201810306536.4 | CN108816870B | 2021-05-25 |
| 2 | 8寸晶圆制造蚀刻机台Unity-85核心零部件上部电极表面制程物的去除方法 | 发明专利 | CN201911359920.1 | CN111048395A | 2020-04-21 |
| 3 | 8寸晶圆制造光刻机核心零部件CUP的固化光阻去除液及其去除固化光阻的方法 | 发明专利 | CN201911361767.6 | CN110908254A | 2020-03-24 |
| 4 | 一种用于光电零部件的热风烤箱 | 实用新型 | CN201920709809.X | CN210036086U | 2020-02-07 |
| 5 | 半导体晶元薄膜制程蚀刻工艺铝件的再生方法 | 发明专利 | CN201810306125.5 | CN108642509B | 2019-12-20 |
| 6 | 用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱 | 实用新型 | CN201821190201.2 | CN208928675U | 2019-06-04 |
| 7 | 用于半导体零部件的无溶剂清洗设备 | 实用新型 | CN201821062387.3 | CN208928670U | 2019-06-04 |
| 8 | 一种用于光电零部件的超声波清洗机 | 实用新型 | CN201821062330.3 | CN208866068U | 2019-05-17 |
| 9 | 一种用于光电零部件的高压喷淋清洗机 | 实用新型 | CN201821062329.0 | CN208866038U | 2019-05-17 |
| 10 | 一种用于光电零部件的退火炉 | 实用新型 | CN201821189167.7 | CN208655582U | 2019-03-26 |
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