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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种蒸镀装置	发明专利	CN202111163706.6	CN113802095A	2021-12-17
2	一种金属丝加热器的制作工装	实用新型	CN202121497266.3	CN215037058U	2021-12-07
3	一种氮化硼坩埚的气相沉积炉	实用新型	CN202121497279.0	CN214693922U	2021-11-12
4	一种陶瓷加热器支撑基体及陶瓷加热器	发明专利	CN201910855022.9	CN110677932B	2021-06-25
5	一种陶瓷加热器支撑基体及陶瓷加热器	发明专利	CN201910855022.9	CN110677932A	2021-06-25
6	一种立式陶瓷加热器	发明专利	CN202011622347.1	CN112822798A	2021-05-18
7	一种蒸镀用加热装置	实用新型	CN201921257970.4	CN211720759U	2020-10-20
8	一种表面缺陷检测装置	实用新型	CN201921862649.9	CN211292539U	2020-08-18
9	一种加热器支撑基体及加热器	实用新型	CN201921502345.1	CN211047255U	2020-07-17
10	一种加热器导电纹路制备模具	实用新型	CN201921507222.7	CN210928016U	2020-07-03

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