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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种基于FR4印制电路板的三轴减振结构	发明专利	CN201810527029.3	CN108770183B	2020-05-05
2	一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法	发明专利	CN201811294746.2	CN109490575B	2019-03-19
3	一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法	发明专利	CN201811294746.2	CN109490575A	2019-03-19
4	一种用于MEMS惯性测量系统的三轴多级PCB减振结构	发明专利	CN201810526927.7	CN109029431B	2018-12-18
5	一种用于MEMS惯性测量系统的三轴多级PCB减振结构	发明专利	CN201810526927.7	CN109029431A	2018-12-18
6	一种基于FR4印制电路板的三轴减振结构	发明专利	CN201810527029.3	CN108770183A	2018-11-06

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