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商标信息 2
专利信息 6
软件著作权 31
作品著作权 0
网站备案 0

商标信息2

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	SMETECH	-	12793502	商标已注册	2013-06-21	查看
2	SHEEN	-	12793477	商标已注册	2013-06-21	查看

专利信息6

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光刻机的过滤机构	实用新型	CN202021145336.4	CN213977166U	2021-08-17
2	一种扩散炉炉门防护装置	实用新型	CN202021145476.1	CN212512489U	2021-02-09
3	一种薄膜刻蚀机的台面清理机构	实用新型	CN202021121704.1	CN212494073U	2021-02-09
4	一种外延炉的废气处理机构	实用新型	CN202021121705.6	CN212492182U	2021-02-09
5	一种清洗机的废水过滤机构	实用新型	CN202021118840.5	CN212491842U	2021-02-09
6	一种离子注入机的质量分析器清理机构	实用新型	CN202021118839.2	CN212209417U	2020-12-22

软件著作权31

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	基于时序信号分析的等离子刻蚀故障检测软件	-	V1.0	2020SR1864890	-	-	2020-12-21
2	广奕硅片电阻控制检测系统	-	V1.0	2020SR1864886	-	-	2020-12-21
3	广奕微纳尺度刻蚀与沉积演化仿真软件	-	V1.0	2020SR1864885	-	-	2020-12-21
4	微纳尺度刻蚀与沉积演化仿真软件	-	V1.0	2020SR1864884	-	-	2020-12-21
5	广奕涂胶系统KS-S200-2CID控制系统	-	V1.0	2020SR0810928	-	-	2020-07-22
6	广奕光刻机电路控制板操作系统	-	V1.0	2020SR0810872	-	-	2020-07-22
7	广奕匀胶设备产能分析软件	-	V1.0	2020SR0809274	-	-	2020-07-22
8	广奕智能晶片湿法刻蚀控制系统	-	V1.0	2020SR0809080	-	-	2020-07-22
9	广奕刻蚀工艺的三维表面演化仿真软件	-	V1.0	2020SR0808846	-	-	2020-07-22
10	广奕清洗机真空干燥温度控制系统	-	V1.0	2020SR0807712	-	-	2020-07-22

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