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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种高精度火焰法自动石英器件成型装备	实用新型	CN202021417447.6	CN214088264U	2021-08-31
2	一种多气源等离子增强CVD系统	实用新型	CN202020940352.6	CN212610895U	2021-02-26
3	一种多管式全自动碳纳米管连续制备装备	实用新型	CN202021237291.3	CN212609577U	2021-02-26
4	一种双泵500管径的升华仪	实用新型	CN202020940351.1	CN212594082U	2021-02-26
5	一种五管自动保护小分子提纯设备	发明专利	CN202010525280.3	CN111939587A	2020-11-17
6	一种双泵500管径的升华仪	发明专利	CN202010471988.5	CN111790175A	2020-10-20
7	一种多气源等离子增强CVD系统	发明专利	CN202010472004.5	CN111778493A	2020-10-16
8	一种多管式全自动碳纳米管连续制备装备	发明专利	CN202010609277.X	CN111762775A	2020-10-13

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