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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	微机械传感装置电特性检测分析系统及方法	发明专利	CN200910081621.6	CN101515010B	2011-11-30
2	微机械传感装置电特性检测分析系统	实用新型	CN200920106733.8	CN201421339Y	2010-03-10
3	微机械传感装置电特性检测分析系统及方法	发明专利	CN200910081621.6	CN101515010A	2009-08-26

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