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序号	发布日期	标题	采购人
1	2021-02-02	工艺原料供应装置设备采购中标候选人公示	-
2	2020-09-28	感应耦合等离子体刻蚀机	中国科学院微电子研究所
3	2020-09-02	中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目中标公告	中国科学院微电子研究所

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