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专利信息21

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种机械手手指冷却装置	实用新型	CN202122198154.4	CN215896328U	2022-02-22
2	一种等离子刻蚀机的介质窗匀温装置	实用新型	CN202122064579.6	CN215896306U	2022-02-22
3	一种法拉第屏蔽装置、等离子体刻蚀系统及其使用方法	发明专利	CN202010470678.1	CN113745085A	2021-12-03
4	一种法拉第屏蔽装置、等离子体刻蚀系统及其使用方法	发明专利	CN202010469381.3	CN113745084A	2021-12-03
5	收纳装置	实用新型	CN202121531897.2	CN214931747U	2021-11-30
6	一种高度可调节聚焦环及等离子体刻蚀设备	实用新型	CN202121290748.1	CN214672496U	2021-11-09
7	一种等离子刻蚀机及其使用方法	发明专利	CN202010354739.8	CN113571399A	2021-10-29
8	真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链	实用新型	CN202020953038.1	CN213573509U	2021-06-29
9	一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构	实用新型	CN202020980937.0	CN213175232U	2021-05-11
10	一种晶圆扫描喷嘴清洗槽	实用新型	CN202021130986.1	CN213162175U	2021-05-11

软件著作权7

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	薄膜纳米材料孔径分析仪数据处理系统	GAM-100	V2.0.0	2021SR0294068	-	-	2021-08-23
2	RecipeEditor编辑软件	RecipeEditor	V2.3.0	2020SR1271525	-	2020-05-19	2020-12-30
3	Footprint Animation用户控件软件	-	V1.0	2020SR0759542	-	-	2020-07-13
4	VPD-300平台软件	VPD-300	V1.0	2020SR0758248	-	-	2020-07-13
5	四探针自动测量软件	AutoProbe	V1.0	2020SR0758239	-	-	2020-07-13
6	SoptPLC ADS通讯软件	SoftPLC	V1.0	2020SR0758232	-	-	2020-07-13
7	磁存储刻蚀机LMEC300计算机软件	SW_LMEC300	V1.0	2020SR0758147	-	-	2020-07-13

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