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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半接触式点样仪及微悬臂梁传感芯片的制备方法	发明专利	CN202110492715.3	CN113189358A	2021-07-30
2	一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法	发明专利	CN202110242692.0	CN113023658A	2021-06-25

软件著作权12

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	自加热微悬臂梁芯片良率评估系统	-	V1.0	2021SR1988173	-	2021-04-13	2021-12-03
2	谐振式微悬臂梁芯片良率评估系统	-	V1.0	2021SR1988172	-	2020-10-10	2021-12-03
3	自加热微悬臂梁芯片温度测试软件	-	V1.0	2021SR1988141	-	2021-04-26	2021-12-03
4	自加热微悬臂梁芯片设计软件平台	-	V1.0	2021SR1988136	-	2021-03-07	2021-12-03
5	谐振式微悬臂梁芯片设计软件平台	-	V1.0	2021SR1988135	-	2020-09-15	2021-12-03
6	谐振式微悬臂梁芯片气敏测试软件	-	V1.0	2021SR1988134	-	2020-12-17	2021-12-03
7	谐振式微悬臂梁芯片相位跟踪系统	-	V1.0	2021SR1988133	-	2020-11-25	2021-12-03
8	环境原位透射电镜芯片程序升温软件	-	V1.0	2021SR1988039	-	2021-08-15	2021-12-03
9	环境原位透射电镜芯片良率评估系统	-	V1.0	2021SR1988038	-	2021-07-12	2021-12-03
10	环境原位透射电镜芯片测试软件	-	V1.0	2021SR1988037	-	2021-08-15	2021-12-03

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	-	www.mems-resonator.com	沪ICP备2020031169号	企业	2020-10-15

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