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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	基片偏移的诊断及校正方法和诊断及校正装置	发明专利	CN200710179912.X	CN101465311B	2011-12-07
2	基片偏移的诊断及校正方法和诊断及校正装置	发明专利	CN200710179912.X	CN101465311A	2009-06-24

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