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1	对薄膜金属材料上电子束曝光临近效应的改善方法	发明专利	CN200910032300.7	CN101691205B	2012-02-29
2	对薄膜金属材料上电子束曝光临近效应的改善方法	发明专利	CN200910032300.7	CN101691205A	2010-04-07

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