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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种辉光设备可调节辉光监控系统	发明专利	CN200910040490.7	CN101598951B	2012-01-25
2	一种辉光设备可调节辉光监控系统	发明专利	CN200910040490.7	CN101598951A	2012-01-25
3	一种选择性发射极太阳电池制造过程中的氧化硅生成工艺	发明专利	CN200810207488.X	CN101447529B	2010-09-08
4	一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺	发明专利	CN200910037425.9	CN101494253B	2010-07-14
5	一种用于刻蚀二氧化硅掩膜的浆料的清洗工艺	发明专利	CN200910037424.4	CN101494252B	2010-06-09
6	一种硅太阳能电池制造行业废水处理工艺中活性污泥强化培养的方法	发明专利	CN200910040492.6	CN101597106A	2009-12-09
7	一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺	发明专利	CN200910037425.9	CN101494253A	2009-07-29
8	一种用于刻蚀二氧化硅掩膜的浆料的清洗工艺	发明专利	CN200910037424.4	CN101494252A	2009-07-29
9	一种选择性发射极太阳电池制造过程中的氧化硅生成工艺	发明专利	CN200810207488.X	CN101447529A	2009-06-03

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