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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	电子和离子的等离子体源	发明专利	CN201610247327.8	CN105762053B	2018-08-14
2	电子和离子的等离子体源	实用新型	CN201620335040.6	CN205609471U	2016-09-28
3	电子和离子的等离子体源	发明专利	CN201610247327.8	CN105762053A	2016-07-13

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