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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种还原炉	发明专利	CN202111458829.2	CN113912065A	2022-01-11
2	一种冷氢化合成气的处理方法及系统	发明专利	CN202110501264.5	CN113387364A	2021-09-14
3	一种三氯氢硅合成方法及系统	发明专利	CN202110500760.9	CN113387363A	2021-09-14
4	改进的冷氢化合成三氯氢硅的方法及装置	发明专利	CN202110500459.8	CN113387362A	2021-09-14
5	制备三氯氢硅的方法及系统	发明专利	CN202110500338.3	CN113387361A	2021-09-14
6	多晶硅生产用氢气、除杂方法及系统、多晶硅生产方法及系统	发明专利	CN202110501053.1	CN113321183A	2021-08-31

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