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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	工艺设备维护方法、系统及工艺设备维护控制装置	发明专利	CN201811133918.8	CN109358069B	2021-10-15
2	降低太阳能电池芯片切割效率损耗的方法及光伏组件	发明专利	CN201810887296.1	CN110808310B	2021-08-10
3	降低太阳能电池芯片切割效率损耗的方法及光伏组件	发明专利	CN201810887296.1	CN110808310A	2021-08-10
4	一种异质结电池的正面电极及其制造方法	发明专利	CN201810643800.3	CN110634967B	2021-08-10
5	一种异质结电池的正面电极及其制造方法	发明专利	CN201810643800.3	CN110634967A	2021-08-10
6	金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池	发明专利	CN201910576098.8	CN112234106A	2021-01-15
7	异质结太阳能电池及其制备方法	发明专利	CN201910567120.2	CN112151633A	2020-12-29
8	异质结太阳能电池及其制备方法	发明专利	CN201910566732.X	CN112151623A	2020-12-29
9	超薄柔性硅太阳电池制备方法	发明专利	CN201910557480.4	CN111916510A	2020-11-10
10	真空反应腔室和真空镀膜设备	实用新型	CN201921119514.3	CN211112211U	2020-07-28

共 18 页

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