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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	样品生长装置、样品生长方法及分子束外延系统	发明专利	CN202111053039.6	CN113502535B	2021-12-10
2	样品生长装置、样品生长方法及分子束外延系统	发明专利	CN202111053039.6	CN113502535A	2021-12-10
3	AlN基紫外发光二极管的外延片及其制作方法	发明专利	CN202111009443.3	CN113707776A	2021-11-26

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