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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	气相二氧化硅的表面改性联合处理方法	发明专利	CN202010225669.6	CN111392735B	2021-08-06
2	气相二氧化硅表面改性连续工艺	发明专利	CN202010108155.2	CN111286215B	2021-07-06
3	气相二氧化硅表面改性连续工艺	发明专利	CN202010108155.2	CN111286215A	2021-07-06
4	气体喷嘴、气体反应设备及气体水解反应方法	发明专利	CN201910466940.2	CN110354795B	2020-11-20
5	表面改性联合处理装置	实用新型	CN202020414513.8	CN211886757U	2020-11-10
6	表面改性装置	实用新型	CN201922277564.0	CN211725715U	2020-10-23
7	气相二氧化硅的表面改性联合处理方法	发明专利	CN202010225669.6	CN111392735A	2020-07-10
8	氯硅烷净化装置	实用新型	CN201921540381.7	CN210933859U	2020-07-07
9	表面改性联合处理装置	发明专利	CN202010224578.0	CN111282521A	2020-06-16
10	表面改性装置	发明专利	CN201911307519.3	CN111001362A	2020-04-14

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