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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种新型底部抗反射涂层组合物及其制备方法	发明专利	CN202111671202.5	CN114706273A	2022-07-05
2	纳米MnS/TiO2复合光催化剂、制备方法及应用	发明专利	CN202011637644.3	CN112675877B	2022-06-21
3	纳米MnS/TiO2复合光催化剂、制备方法及应用	发明专利	CN202011637644.3	CN112675877A	2022-06-21
4	用于浸没式光刻胶的含氟化合物及其制备方法、光刻胶	发明专利	CN202110110177.7	CN112898185B	2022-06-03
5	一种高纯2-乙基-2-金刚烷醇甲基丙烯酸酯的提纯方法	发明专利	CN201910575274.6	CN110256251B	2022-06-03
6	一种电子级高纯8-羟基喹啉铝的制备方法	发明专利	CN201911219204.3	CN110922356B	2022-05-20
7	一种测试光刻胶树脂组分的方法	发明专利	CN201911191617.5	CN110927207B	2022-05-06
8	一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法	发明专利	CN202111634798.1	CN114415473A	2022-04-29
9	一种甲基丙烯酸树脂及其制备方法、光刻胶	发明专利	CN202011593458.4	CN112778449B	2022-04-29
10	一种甲基丙烯酸树脂及其制备方法	发明专利	CN202011528512.7	CN112625171B	2022-04-29

共 15 页

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