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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种管状磁控溅射源、磁控溅射单元及镀膜系统	实用新型	CN201921420699.1	CN211367711U	2020-08-28
2	一种用于制备镝/铽镀层的磁控溅射镀膜系统	实用新型	CN201920675757.9	CN210596244U	2020-05-22
3	一种稀土永磁体表面快速真空镀铝方法	发明专利	CN201910876814.4	CN110484887A	2019-11-22
4	一种用于制备镝/铽镀层的磁控溅射镀膜系统和方法	发明专利	CN201910393484.3	CN110055503A	2019-07-26

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