上海集成电路材料研究院（简称“材料研究院”）由中国科学院上海微系统与信息技术研究所和上海硅产业集团股份有限公司发起组建，聚焦集成电路材料的研发与产业化。 材料研究院研发布局覆盖衬底材料及工艺材料，主攻12英寸大硅片、新型SOI衬底、高端光刻胶、先进掩模版、先进抛光材料、高纯工艺化学品、高纯电子气体等方向，并以集成电路材料微分析平台及集成电路材料基因组创新体系为支撑，加速集成电路材料的研发和应用。 材料研究院探索与企业、高校院所等各类创新主体之间的沟通与合作机制，加强跨地域、跨机构、全产业链协同的成果转化网络建设，促成多种形式的产学研用合作创新，并坚持科技创新与制度创新双轮驱动，通过联合研发、自主立项等模式形成可持续发展的技术创新机体，加快推动技术创新及产业化，为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。