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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半导体加热炉	实用新型	CN202021283070.X	CN212930979U	2021-04-09
2	一种芯片制造用表面清灰装置	实用新型	CN202021214808.7	CN212916712U	2021-04-09

软件著作权3

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	开成晶圆芯片缺陷检测系统	-	V1.0	2021SR0545827	-	-	2021-04-15
2	开成MOS晶体管数据采集分析软件	-	V1.0	2021SR0545826	-	-	2021-04-15
3	开成MOS管（场效应管）性能自动检测软件	-	V1.0	2021SR0545789	-	-	2021-04-15

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