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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺	发明专利	CN202110137143.7	CN112961985A	2021-06-15
2	一种高世代TFT级细晶粒ITO靶材的制造方法	发明专利	CN202110137140.3	CN112723863A	2021-04-30

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