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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	蒸发源机构以及溅射镀膜设备	实用新型	CN201922098942.9	CN211199385U	2020-08-07
2	换靶装置	实用新型	CN201922096394.6	CN211199384U	2020-08-07
3	基板装卸装置以及光学镀膜设备	实用新型	CN201922075175.X	CN210864093U	2020-06-26
4	基板装卸装置以及光学镀膜设备	发明专利	CN201911175133.1	CN110794488A	2020-02-14
5	装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备	发明专利	CN201811441180.1	CN110616407A	2019-12-27
6	磁控溅射镀膜机	发明专利	CN201811441007.1	CN110616406A	2019-12-27
7	装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备	实用新型	CN201821990414.3	CN209537613U	2019-10-25
8	磁控溅射镀膜机	实用新型	CN201821984019.4	CN209537612U	2019-10-25
9	镀膜生产线多级气氛隔离装置	发明专利	CN201610616844.8	CN106277816B	2019-08-23
10	提高镀膜靶材利用率的方法	发明专利	CN201610619556.8	CN106244990B	2018-12-11

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