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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种去除单多晶硅切削液中微量水分的方法和装置	发明专利	CN201410285851.5	CN105214338A	2016-01-06
2	切削悬浮液回收的方法	发明专利	CN200610058747.8	CN101032806B	2011-03-16
3	切削悬浮液回收的方法	发明专利	CN200610058747.8	CN101032806A	2007-09-12

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