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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	双金属线圈的电磁驱动微镜	发明专利	CN201610399981.0	CN105866942B	2018-05-01
2	一种电磁驱动一维微镜	实用新型	CN201621003011.6	CN206301074U	2017-07-04
3	MEMS扫描振镜的磁场系统	发明专利	CN201310479059.9	CN104570332B	2017-01-18
4	双金属线圈的电磁驱动微镜	实用新型	CN201620549276.X	CN205862006U	2017-01-04
5	一种电磁驱动一维微镜	发明专利	CN201610775333.0	CN106249402A	2016-12-21
6	多激光扫描投影系统	发明专利	CN201610643729.X	CN106125479A	2016-11-16
7	双金属线圈的电磁驱动微镜	发明专利	CN201610399981.0	CN105866942A	2016-08-17
8	MEMS扫描振镜的磁场系统	发明专利	CN201310479059.9	CN104570332A	2015-04-29

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