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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	射频电源模拟控制器	发明专利	CN201711443475.8	CN108121266B	2020-12-15
2	基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法	发明专利	CN201711443387.8	CN108107376B	2019-12-13
3	真空电容测试系统	发明专利	CN201711443963.9	CN108225420A	2018-06-29
4	匹配器动态测试方法	发明专利	CN201711444537.7	CN108152696A	2018-06-12
5	射频电源模拟控制器	发明专利	CN201711443475.8	CN108121266A	2018-06-05
6	基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法	发明专利	CN201711443387.8	CN108107376A	2018-06-01

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