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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	导线轮及切割机	实用新型	CN202122113137.6	CN215790930U	2022-02-11
2	一种喷淋清洗机构、切片机及脱胶预清洗机	实用新型	CN201921157910.5	CN210966053U	2020-07-10
3	一种硅片清洗沥干装置及清洗烘干装置	实用新型	CN201921171074.6	CN210167332U	2020-03-20
4	一种硅片加工用的新型花篮	实用新型	CN201822031145.4	CN209150066U	2019-07-23
5	清洗机的溢流喷淋装置	实用新型	CN201821146280.7	CN208712409U	2019-04-09
6	一种新型硅片清洗机烘干结构	实用新型	CN201820800199.X	CN208349787U	2019-01-08
7	一种切片机用切割液密封周转罐	实用新型	CN201820332012.8	CN208036938U	2018-11-02
8	一种插片机双筒式过滤装置	实用新型	CN201820050075.4	CN207871654U	2018-09-18
9	一种金刚石线切片机轴承箱震动检测装置	实用新型	CN201721239411.1	CN207248525U	2018-04-17
10	一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头	实用新型	CN201721239754.8	CN207240540U	2018-04-17

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