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专利信息5

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	压力烤箱的马达电源配置结构	实用新型	CN202121332508.3	CN214959151U	2021-11-30
2	烤箱卡匣的承载结构	实用新型	CN202121367122.6	CN214950646U	2021-11-30
3	罩盖构造及罩盖构造的盖体总成	实用新型	CN202021070019.0	CN213087748U	2021-04-30
4	电子元件的清洗构造	实用新型	CN202020980142.X	CN212303610U	2021-01-05
5	晶圆检视装置	实用新型	CN202020905124.5	CN212303609U	2021-01-05

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	半导体芯片腐蚀自动控制系统软件	SecsEtch	V1.0	2022SR0342602	-	2021-11-16	2022-03-14
2	半导体芯片显影自动控制系统软件	SecsDev	V1.0	2022SR0340605	-	2021-11-30	2022-03-14
3	半导体芯片自动分片控制系统软件	SecsSorter	V1.0	2022SR0337505	-	2021-12-20	2022-03-11
4	半导体芯片自动清洗控制系统软件	-	V1.0	2022SR0293348	-	2021-10-20	2022-03-01

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