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软件著作权 4
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商标信息2

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	图形	09类-科学仪器	59128999	初审公告	2021-09-09	查看
2	图形	07类-机械设备	59105643	初审公告	2021-09-09	查看

专利信息2

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光刻机Mark点的CCD调焦装置	实用新型	CN202021705398.6	CN212694246U	2021-03-12
2	一种光刻机的硅片直线预矫正装置	实用新型	CN202021705397.1	CN212694245U	2021-03-12

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	一种湿法刻蚀机软件控制系统	-	V1.0	2021SR1304198	-	-	2021-09-01
2	一种半导体晶圆清洗机两轴运动控制软件系统	-	V1.0	2021SR1302705	-	-	2021-09-01
3	一种半导体显影设备触摸屏控制系统	-	V1.0	2021SR1302704	-	-	2021-09-01
4	一种旋转喷淋浸没显影装置软件控制系统	-	V1.0	2021SR1300586	-	-	2021-09-01

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