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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种微波等离子发生系统和蚀刻设备	实用新型	CN202120820527.4	CN215418097U	2022-01-04
2	一种晶圆的传片方法和传片平台	发明专利	CN202110234938.X	CN113140483A	2021-07-20

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