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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种硅块破碎方法	发明专利	CN201310589389.3	CN103599835B	2016-06-15
2	一种电子束炉熔炼多晶硅除硼和金属杂质的方法	发明专利	CN201310587702.X	CN103588208B	2015-11-18
3	一种硅块破碎方法	发明专利	CN201310589389.3	CN103599835A	2014-02-26
4	一种电子束炉熔炼多晶硅除硼和金属杂质的方法	发明专利	CN201310587702.X	CN103588208A	2014-02-19
5	一种电子束熔炼用石墨和涂层衬底的水冷装置	实用新型	CN201120279678.X	CN202267357U	2012-06-06
6	一种高纯硅衬底下电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备	发明专利	CN201110220767.1	CN102408112A	2012-04-11

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