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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种双路臭氧发生器压力控制系统	实用新型	CN202023204324.7	CN214087719U	2021-08-31
2	一种臭氧发生器压力控制系统	实用新型	CN202023202791.6	CN213545105U	2021-06-25
3	一种低成本LPCVD用载料舟及其制备方法	发明专利	CN202010504497.6	CN111627848A	2020-09-04
4	一种防堵孔组件及防堵孔气路装置	发明专利	CN202010505057.2	CN111607781A	2020-09-01
5	一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法	发明专利	CN202010349899.3	CN111501026A	2020-08-07
6	一种硅片翻转机构	发明专利	CN201810580596.5	CN109037135A	2018-12-18
7	一种安全防爆阀	发明专利	CN201810580594.6	CN108869770A	2018-11-23
8	一种非接触式吸盘	实用新型	CN201721756842.5	CN207564499U	2018-07-03
9	吸盘（非接触式）	外观专利	CN201730643165.5	CN304655499S	2018-06-01
10	一种非接触式吸盘	发明专利	CN201711353905.7	CN107825454A	2018-03-23

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