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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种喷涂陶瓷靶材的冷却装置	实用新型	CN202023324603.7	CN215465807U	2022-01-11
2	一种磁控溅射镀膜磁性靶材	实用新型	CN202023303473.9	CN214782106U	2021-11-19
3	一种旋转喷涂靶材送粉装置	实用新型	CN202023321071.1	CN214766673U	2021-11-19
4	一种拼接型陶瓷靶材	实用新型	CN202023303456.5	CN214458284U	2021-10-22
5	一种旋转靶材吊装装置	实用新型	CN202023319862.0	CN214456235U	2021-10-22
6	一种旋转靶材精确喷涂装置	实用新型	CN202023321056.7	CN214440245U	2021-10-22
7	一种用于管筒状靶材绑定的芯轴定位式挤压裁切治具	实用新型	CN201922431231.9	CN211999892U	2020-11-24
8	一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具	实用新型	CN201922433551.8	CN211996261U	2020-11-24
9	一种异形靶材的加工夹具	实用新型	CN201922377463.0	CN211991852U	2020-11-24
10	一种陶瓷靶材的铸造模具	实用新型	CN201922398763.7	CN211590610U	2020-09-29

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