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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法	发明专利	CN201410534538.0	CN104310406B	2016-06-22
2	三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法	发明专利	CN201410534538.0	CN104310406A	2015-01-28
3	导热油渗漏检测方法及其检测装置	发明专利	CN201410534493.7	CN104280391A	2015-01-14
4	石墨预热片、半导体预热装置、硅芯炉及磷检炉	发明专利	CN201110333579.X	CN102505145B	2014-12-10
5	硅棒碰壁检测装置	发明专利	CN201110333561.X	CN102385068B	2014-06-18
6	还原炉控制方法及装置	发明专利	CN201110281406.8	CN102351190B	2013-06-12
7	一种将硅与杂质进行分离的方法	发明专利	CN201010158893.4	CN101837348B	2013-01-09
8	还原炉控制装置	实用新型	CN201120354779.9	CN202529851U	2012-11-14
9	一种夹持原料棒的夹持装置	实用新型	CN201120567277.4	CN202415727U	2012-09-05
10	一种循环冷凝器	实用新型	CN201120562517.1	CN202398135U	2012-08-29

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