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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶棒自动裁切系统	发明专利	CN202010042182.4	CN111186039B	2021-08-20
2	一种晶棒自动裁切系统	发明专利	CN202010042182.4	CN111186039A	2021-08-20
3	一种多晶硅片转运用包装防护装置	实用新型	CN202021354990.6	CN213503678U	2021-06-22
4	一种可调式单晶炉中轴盖	实用新型	CN202021354972.8	CN213232568U	2021-05-18
5	一种硅片切割用硅片收集装置	实用新型	CN202021354997.8	CN213227055U	2021-05-18
6	一种硅片切割用夹持装置	实用新型	CN202021354985.5	CN213227051U	2021-05-18
7	一种硅棒加工用定位夹持机构	实用新型	CN202021354995.9	CN213227050U	2021-05-18
8	一种用于硅片制造的研磨装置	实用新型	CN202021354980.2	CN213225681U	2021-05-18
9	一种圆晶倒角工艺	发明专利	CN201911204663.4	CN111037370B	2021-04-27
10	一种硅棒运输装置	实用新型	CN202021355017.6	CN213036871U	2021-04-23

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