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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种碳化硅用抛光液的制备和使用方法	发明专利	CN201010591103.1	CN102127371B	2015-06-10
2	一种清洗碳化硅晶片表面污染物的方法	发明专利	CN201010179864.6	CN101979160B	2014-05-14
3	多线切割机分段切割碳化硅晶体的方法	发明专利	CN201010179835.X	CN101979230B	2013-10-23
4	一种有蜡加工晶片用粘结剂及其制备方法	发明专利	CN200910236734.9	CN101984012B	2012-07-25
5	一种碳化硅用抛光液的制备和使用方法	发明专利	CN201010591103.1	CN102127371A	2011-07-20
6	一种有蜡加工晶片用粘结剂及其制备方法	发明专利	CN200910236734.9	CN101984012A	2011-03-09
7	多线切割机分段切割碳化硅晶体的方法	发明专利	CN201010179835.X	CN101979230A	2011-02-23
8	一种清洗碳化硅晶片表面污染物的方法	发明专利	CN201010179864.6	CN101979160A	2011-02-23

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