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官网： www.thtf-mems.com

地址：北京市海淀区王庄路1号院清华同方科技大厦D座17层1702号

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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	MEMS硅桥膜结构继电器的制备方法	发明专利	CN201210469926.6	CN103000410B	2015-04-29
2	MEMS硅桥膜结构继电器及其制备方法	发明专利	CN201210469926.6	CN103000410A	2013-03-27
3	MEMS电磁继电器	发明专利	CN200710119273.8	CN100552855C	2009-10-21
4	MEMS电磁继电器	发明专利	CN200710119273.8	CN101159202A	2008-04-09

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	同方华创	www.thtf-mems.com	京ICP备2021001356号	企业	2021-01-14

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