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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种PECVD石墨舟碳化硅饱和处理工艺	发明专利	CN201911277408.2	CN112992744A	2021-06-18
2	一种插片机上保护石英舟支角防破损定位座	实用新型	CN201922216541.9	CN211479987U	2020-09-11
3	一种烧结炉有机气体排放超温自动抽风防火系统	实用新型	CN201922205327.3	CN211476748U	2020-09-11
4	一种工艺槽内故障自动报警花篮抓取装置	实用新型	CN201922204950.7	CN211466424U	2020-09-11
5	一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置	实用新型	CN201922216340.9	CN211464127U	2020-09-11
6	一种烧结炉有机气体排放监测自动保护控制系统	实用新型	CN201922225992.9	CN211373276U	2020-08-28
7	一种扩散烧结炉内上方高温热气速散装置	实用新型	CN201922216320.1	CN211373258U	2020-08-28
8	一种纯水加热桶安全监测装置	实用新型	CN201922216503.3	CN211372743U	2020-08-28
9	一种防止电池片破损装有可拆卸X形整理垫片的转运小车	实用新型	CN201922205021.8	CN211364618U	2020-08-28
10	一种硅片插片机上的光电感应抓舟装置	实用新型	CN201922216157.9	CN210743968U	2020-06-12

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