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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种可调式半导体去溢料高压喷淋装置	实用新型	CN201020690408.3	CN201997420U	2011-10-05
2	一种晶圆背电极的制作方法及其晶圆	发明专利	CN200810198322.6	CN101350296B	2011-05-18
3	一种半导体切筋模具	实用新型	CN200920194694.1	CN201500724U	2010-06-09
4	一种可调电压基准电源的制备方法	发明专利	CN200810028786.2	CN100590791C	2010-02-17
5	一种晶圆背电极的制作方法及其晶圆	发明专利	CN200810198322.6	CN101350296A	2009-01-21
6	一种可调电压基准电源的制备方法	发明专利	CN200810028786.2	CN101290868A	2008-10-22

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