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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种自动进行双面曝光的曝光机机构	发明专利	CN202011410851.5	CN113156771A	2021-07-23
2	大理石精密工作台气浮顶升机构	发明专利	CN202110356442.X	CN113126451A	2021-07-16
3	一种片体零件加工装夹装置	实用新型	CN202021852654.4	CN213672998U	2021-07-13
4	多线切割机主辊加工用同轴度夹持工装	实用新型	CN202022268740.7	CN213563668U	2021-06-29
5	一种接近接触光刻机的底部吹氮真空复印曝光模式	发明专利	CN202110161191.X	CN112965342A	2021-06-15
6	一种单晶硅的边皮料自动预清洗设备	发明专利	CN202110080924.7	CN112934782A	2021-06-11
7	气液共用清洗管道的装置	发明专利	CN202011456340.7	CN112871893A	2021-06-01
8	高效上下料系统	发明专利	CN202011459386.4	CN112722832A	2021-04-30
9	多线切割机主辊加工方法	发明专利	2020110909961	CN112264765A	2021-01-26
10	一种液压式手动弯折装置	实用新型	CN202020766766.1	CN212190730U	2020-12-22

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